保留AMRAY 1910场发射扫描电子显微镜

• 分辨率7 nm @ 1kV， 1.5 nm在30kv
• 3轴stage motorization package （X， Y， R）
• 4“负载锁，用于快速转移样品。
• 样品尺寸最大可达4英寸，100毫米X/Y
• 数字图像捕获和网络。
• 配备EDS和WDS